微小熱點之主動式冷卻  nene

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題名:	微小熱點之主動式冷卻 nene
作者:	張晊源;Zh-Yuan Chang
貢獻者:	機械工程研究所
關鍵詞:	微小熱點;微小液滴;微電子設備冷卻
日期:	2001-06-29
上傳時間:	2009-09-21 11:37:35 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學圖書館
摘要:	應用於微小熱點( 50μm ×50μm)冷卻之各種冷卻法，諸如︰熱電冷卻法、微熱管冷卻、微管流冷卻等，受限於尺寸或是材質而難有理想之冷卻效率。本文採用微小液滴主動式冷卻，利用冷卻介質之相變化，直接帶走微小熱點上的熱而達到冷卻目的，以期能在微小光機電元件冷卻工程上有更新之突破。本研究使用噴墨頭噴出單一微小液滴及連續液滴，兩種不同之冷卻方式冷卻熱輻射感測器，此感測器可輸入不同之電流，藉此可模擬不同溫度之微小熱點，另藉由量測感測器之電阻變化，可得知其上之溫度變化。實驗結果顯示︰使用單一微小液滴冷卻，液滴蒸發時間僅需數百毫秒，且微小熱點冷卻後最大之溫度降可達 20℃，冷卻後溫度可約略低於室溫 5℃。而當使用5Hz連續液滴冷卻時，液滴不會堆積於微小熱點上，且可將微小熱點持續維持在較低之溫度。
顯示於類別:	[機械工程研究所] 博碩士論文

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