Transparent conducting Sc-codoped AZO film prepared from ZnO : Al-Sc by RF-DC sputtering

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题名:	Transparent conducting Sc-codoped AZO film prepared from ZnO : Al-Sc by RF-DC sputtering
作者:	Lin,Jing-Chie;Peng,Kun-Cheng;Liao,Hsueh-Lung;Lee,Sheng-Long
贡献者:	材料科學與工程研究所
日期:	2008
上传时间:	2010-07-06 15:58:12 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Al and Sc-codoped zinc oxide (also expressed as Sc-codoped AM or ZnO:Al-Sc) films were sputtered on STN glass using RF power sources on ZnO and DC power sources on Al-1.7wt.% Sc alloy. X-ray diffraction (XRD) of the codoped films displayed that they are c
關聯:	THIN SOLID FILMS????
显示于类别:	[材料科學與工程研究所 ] 期刊論文

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