Effect of ethanol on the photoelectrochemical fabrication of macroporous N-Si(100) in HF solution

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题名:	Effect of ethanol on the photoelectrochemical fabrication of macroporous N-Si(100) in HF solution
作者:	Lin,Jing-Chie;Lai,Chien-Ming;Jehng,Wern-Dare;Hsueh,Kan-Lin;Lee,Sheng-Long
贡献者:	機械工程研究所
关键词:	N-TYPE SILICON;POROUS SILICON;FORMATION MECHANISM;DISSOLUTION;ARRAY
日期:	2008
上传时间:	2010-07-06 16:15:55 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	The effect of ethanol on the photoelectrochemical fabrication of macroporous n-type Si(100) (pore diameter > 50 nm) in 2.0 M hydrofluoric acid was investigated. A cross-sectional scanning electron microscope examination revealed the formation of rough big
關聯:	JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
显示于类别:	[機械工程研究所] 期刊論文

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