Optimization of wear-corrosion properties of a-C : N films using filtered cathodic arc deposition

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题名:	Optimization of wear-corrosion properties of a-C : N films using filtered cathodic arc deposition
作者:	Tan,A. H.;Cheng,Y. C.
贡献者:	機械工程研究所
关键词:	DIAMOND-LIKE CARBON;CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION;AMORPHOUS-CARBON;NITRIDE FILMS;VACUUM-ARC;MECHANICAL-PROPERTIES;PLASMA SYSTEM;DLC COATINGS;BIAS VOLTAGE;EMISSION
日期:	2008
上传时间:	2010-07-06 16:17:32 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Applying a 4-factor (negative substrate bias voltage, arc current, Ar flow and N-2/Ar ratio) 3-level (L9) orthogonal array design using the Taguchi method to optimize the wear-corrosion properties of a-C:N in Filtered Cathodic Vacuum Arc (FCVA) deposition
關聯:	DIAMOND AND RELATED MATERIALS????
显示于类别:	[機械工程研究所] 期刊論文

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