Fabricating low-loss hollow optical waveguides via amorphous silicon bonding using dilute KOH solvent

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題名:	Fabricating low-loss hollow optical waveguides via amorphous silicon bonding using dilute KOH solvent
作者:	Lo,SS;Chiu,HK;Chen,CC;Hsu,SC;Liu,CY
貢獻者:	光電科學與工程學系
日期:	2005
上傳時間:	2010-07-07 14:11:30 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	This work explicates a method for fabricating a hollow optical waveguide. Dilute KOH solvent was used to bond two omni-directional reflector (ODR) Si wafers to an amorphous Si thin film on the top of a Si wafer. The resultant bonding interface is very thi
關聯:	IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS
顯示於類別:	[光電科學與工程學系] 期刊論文

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