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    題名: Diffusion barrier of sputtered W film for Cu Schottky contacts on InGaP layer
    作者: Lee,CT;Liu,DS;Deng,RW
    貢獻者: 光電科學與工程學系
    關鍵詞: INGAP/GAAS/INGAP MSM PHOTODETECTORS;ELECTRICAL-PROPERTIES;THERMAL RELIABILITY;FAILURE-MECHANISM;COPPER;SILICON;CU/AU;GAAS;MICROSTRUCTURE;MULTILAYERS
    日期: 2004
    上傳時間: 2010-07-07 14:12:43 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: To improve the thermal stability of Schottky performances, a refractory diffusion barrier layer of W is used for impeding the indiffusion of Cu into the JnGaP layer. From the atomic force microscopy measurements for W/Cu Schottky contacts to the InGaP lay
    關聯: THIN SOLID FILMS
    顯示於類別:[光電科學與工程學系] 期刊論文

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