Annealing dependence of residual stress and optical properties of TiO2 thin film deposited by different deposition methods

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题名:	Annealing dependence of residual stress and optical properties of TiO2 thin film deposited by different deposition methods
作者:	Chen,Hsi-Chao;Lee,Kuan-Shiang;Lee,Cheng-Chung
贡献者:	薄膜技術研究中心
关键词:	ION-ASSISTED DEPOSITION;COLUMNAR MICROSTRUCTURE;OXIDE FILMS
日期:	2008
上传时间:	2010-07-07 15:47:00 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	Titanium oxide (TiO2) thin films were prepared by different deposition methods. The methods were E-gun evaporation with ion-assisted deposition (IAD), radio-frequency (RF) ion-beam sputtering, and direct current (DC) magnetron sputtering. Residual stress
關聯:	APPLIED OPTICS
显示于类别:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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