Measurement of stress in aluminum film coated on a flexible substrate by the shadow moire method

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题名:	Measurement of stress in aluminum film coated on a flexible substrate by the shadow moire method
作者:	Lee,Kuan-Shiang;Tang,Chien-Jen;Chen,Hsi-Chao;Lee,Cheng-Chung
贡献者:	薄膜技術研究中心
日期:	2008
上传时间:	2010-07-07 15:47:10 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	This investigation proposes the use of the shadow moire method (SMM) to measure stress in a thin film that is coated on a flexible substrate. The technique 'defines the profile of the sample by contour lines without the application of an external force, a
關聯:	APPLIED OPTICS
显示于类别:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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