Residual stress in obliquely deposited MgF2 thin films

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題名:	Residual stress in obliquely deposited MgF2 thin films
作者:	Jaing,Cheng-Chung;Liu,Ming-Chung;Lee,Cheng-Chung;Cho,Wen-Hao;Shen,Wei-Ting;Tang,Chien-Jen;Liao,Bo-Huei
貢獻者:	薄膜技術研究中心
關鍵詞:	GLANCING-ANGLE DEPOSITION;OPTICAL-PROPERTIES;SURFACE-DIFFUSION;ION ASSISTANCE;COLUMN ANGLE;MICROSTRUCTURE;TEMPERATURE;EVAPORATION;GROWTH;OXIDE
日期:	2008
上傳時間:	2010-07-07 15:47:15 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	MgF2 films with a columnar microstructure are obliquely deposited on glass substrates by resistive heating evaporation. The columnar angles of the films increases with the deposition angle. Anisotropic stress does not develop in the films with tilted colu
關聯:	APPLIED OPTICS
顯示於類別:	[Thin Film Technology Center] journal & Dissertation

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