TiO2-Ta2O5 composite thin films deposited by radio frequency ion-beam sputtering

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題名:	TiO2-Ta2O5 composite thin films deposited by radio frequency ion-beam sputtering
作者:	Lee,Cheng-Chung;Tang,Chien-Jen
貢獻者:	薄膜技術研究中心
關鍵詞:	TIO2-SIO2 MIXED FILMS;OPTICAL-PROPERTIES;OXIDE-FILMS;INTRINSIC STRESS;COEVAPORATION;CONSTANTS
日期:	2006
上傳時間:	2010-07-07 15:47:48 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	TiO2-Ta2O5 composite films were prepared by a radio frequency ion-beam sputtering deposition process, and the refractive indices and extinction coefficients of the composite films were found to be between those of the TiO2 and Ta2O5 films. The structure o
關聯:	APPLIED OPTICS
顯示於類別:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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