Micro-anode guided electroplating (MAGE) control system

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题名:	Micro-anode guided electroplating (MAGE) control system
作者:	Lee DL,Lin JC,Kao PF,Jiang SB
贡献者:	光機電工程研究所
关键词:	LOCALIZED ELECTROCHEMICAL DEPOSITION;MICROFABRICATION;MICROSTRUCTURES
日期:	2006
上传时间:	2010-07-08 09:43:25 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	This article releases the details of the equipment development for the micro-anode guided electroplating MAGE fabrication. The microstepping architecture, electroplating power source, control system architecture, measurement system, man machine interface
關聯:	PROGRESS ON ADVANCED MANUFACTURE FOR MICRO/NANO TECHNOLOGY 2005, PT 1 AND 2
显示于类别:	[光機電工程研究所 ] 期刊論文

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