次世代TFT-LCD光阻塗佈製程與設備之研發---子計畫三---塗佈設備機電系統整合及控制技術研發; The Study of Control and Mechatronic to a Slit Coating System

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Title:	次世代TFT-LCD光阻塗佈製程與設備之研發---子計畫三---塗佈設備機電系統整合及控制技術研發;The Study of Control and Mechatronic to a Slit Coating System
Authors:	董必正
Contributors:	機械工程學系
Keywords:	彩色濾光片;狹縫式塗佈;壓電材料;摩擦力;適應性控制;光電工程;電子電機工程類;機械工程類
Date:	2005-07-01
Issue Date:	2010-11-30 15:12:22 (UTC+8)
Publisher:	行政院國家科學委員會
Abstract:	TFT LCD 的製程，隨著玻璃基板尺寸逐步的增大，到了第七代，玻璃尺寸已經突破兩公尺。在如此大的基板上施行光阻塗佈，傳統的旋轉塗佈方法 (Spin Coating)已經不適用。由於需要寬度寬且膜厚一致的塗佈方法，慢慢的狹縫式塗佈技術(Slit Coating)，漸能取代旋轉塗佈技術。本計畫主要是發展狹縫式塗佈設備的機電整合，除了建立各機構的製程功能外，也希望藉由控制方法，解決寬玻璃基板在塗佈上的製程問題。因越來越寬的玻璃基板，狹縫尺寸也必須對應的加長，但相對的，要產生寬且均勻的膜厚，實際上，因受限於狹縫模具與物理現象，也相對的困難。為改善此一問題，本計畫使用壓電材料產生脈波，針對模具內塗佈液施以擾動，使塗佈液出口能產生寬且一致的塗佈。又由於大的玻璃基板需要寬且長的機台，要維持設備機構構件在長行程下仍有高穩定的塗佈速度，對於一些非線性的現象，如摩擦力、背隙與飽和等，需要加以補償，才能確保在塗佈時，機台仍有理想的精度，避免因不準確的定位影響到製程。在設備精密定位方面，本計畫提出 Gradient Method 的方法，以適應性控制法，求出非線性的補償量。最後目的即是建立次世代狹縫式塗佈設備，主要目標是大面積玻璃基板的矩形塗佈。研究期間：9308 ~ 9407
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
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