次世代TFT-LCD光阻塗佈製程與設備之研發---子計畫二---玻璃基板超音波微孔塗佈子系統設計開發(II); (Subproject 2)Design and Development of Ultrasonic Ejector on TFT-LCD Glass Substrates (II)

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Title:	次世代TFT-LCD光阻塗佈製程與設備之研發---子計畫二---玻璃基板超音波微孔塗佈子系統設計開發(II);(Subproject 2)Design and Development of Ultrasonic Ejector on TFT-LCD Glass Substrates (II)
Authors:	潘敏俊
Contributors:	機械工程學系
Keywords:	薄膜電晶體液晶顯示器;彩色濾光片;超音波噴墨;塗佈設備;光電工程;機械工程類
Date:	2006-07-01
Issue Date:	2010-12-06 15:08:53 (UTC+8)
Publisher:	行政院國家科學委員會
Abstract:	本子計畫之執行，即在探討及發展超音波噴墨塗佈技術，並設計製作塗佈頭及相關供墨系統，以達到大型玻璃基板有效穩定的濾光片製作。此一次世代超音波塗佈及供墨系統的主要元件及發展技術包括： 1. 超音波微孔塗佈頭－改變縫模塗佈機制之機械式壓出方式，以陣列式微孔取代條狀模縫，設計為超音波微孔噴出機制。研究中將先依循超音波噴墨已有研究，另提出；而超音波微孔塗佈則是將壓電材料震盪至其共振頻率以產生超音波，微孔噴嘴輪廓為拋物線形狀，並將微孔開口置於焦點，如此帶靜電微粒之濾光液噴出後可彙集於開口處，而後再藉一偏壓射出至玻璃基板上。此塗佈頭另需考慮的功能尚有： .. 塗佈頭/基板測距回授裝置－塗佈微孔開口與玻璃基板間應維持特定距離，顧需作監測。距離大小依濾光點(color pixel)大小、及塗佈頭與基板座偏壓大小而定。 .. 濾光液防固化裝置－用以防止塗佈頭陣列微孔因濾光液固化阻塞。此外，另配合其他子計畫所發展的線上影像檢測系統，若發生塗佈缺陷，即能立即清洗並重新再行塗佈，避免無謂的後續製程。 2. 超音波噴墨供墨系統改良研究－此一墨水儲存輸送裝置，用以穩定供應塗料予噴墨頭。由於超音波噴墨對墨水供應與噴孔附近之墨水位置要求嚴格，另外還須考量向下噴墨情況時，必須維持住墨水避免可能因重力而滴落等問題，超音波噴墨系統必須研發專屬之供墨方法與微流道設計進而整個供墨控制系統之設計。此供墨系統所要求的性能為： .. 可以在幾乎無脈動之狀況連續輸送 .. 由水狀液體到相當黏度液體皆能定量輸送，因應不同噴墨頭所使用的超音波噴墨墨水的黏度、表面張力有所差異。 .. 吐出量可信賴度高，吐出精準度誤差在± 1%以內 .. 無須使用閥之構造設計，以免產生阻塞 .. 能順暢運轉輸送且無振動與噪音 .. 拆裝保養力求簡單此外，塗料輸送時需避免受到雜質的污染及氣泡的產生，以防止塗佈加工上的缺陷發生，以確保塗佈品質。研究期間：9408 ~ 9507
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
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