以矽粉製備氮化矽反應動力學之研究;Kinetics Studies on the Preparation of Silicon Nitride from Silicon Powder

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Title:	以矽粉製備氮化矽反應動力學之研究;Kinetics Studies on the Preparation of Silicon Nitride from Silicon Powder
Authors:	張奉文
Contributors:	中央大學化學工程與材料工程研究所
Keywords:	化學工程類;矽粉;氮化;動力學;氮化矽;反應速率;Silicon powder;Nitridation;Kinetics;Silicon nitride;Reaction rate
Date:	1995-09-01
Issue Date:	2012-10-01 11:10:03 (UTC+8)
Publisher:	行政院國家科學委員會
Abstract:	氮化矽(Silicon nitride, Si/sub 3/N/sub 4/)能廣泛地應用於電子工業、精密工業用之研磨材及半導體用的製造器具等.其中高品質粉末的開發是製造此精密陶瓷的基礎,故氮化矽粉末的製造是非常值得我們努力及研究的問題.利用矽在高溫下進行氮化反應可製得高純度的氮化矽粉末,此一方法最引人注意之處乃在於此製程較其他方法簡單,生產所得之粉末品質高且容易大量生產等.本研究所欲探討的內容有:(1)以熱分析法進行矽粉之氮化反應實驗,探討的主要影響因素有氣體流率、載量大小、粉粒大小、氣體濃度、反應溫度,以及反應時間等;(2)配合各項物性測試以鑑定產物的品質;(3)進行動力學分析;(4)建立動力學模式.本研究預期的成果為:(1)提供以矽粉氮化反應之可能最佳操作條件;(2)經由反應條件及動力學的探討,可達到學術研究的目的;(3)氮化矽的開發成功,亦將有助於我國在精密陶瓷化學品科技方面的提升. ; 研究期間 8308 ~ 8407
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
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