矽基板液晶式Fabry-Perot濾光片/光開關; Silicon-Based Liquid Crystal Fabry-Peort Filter/Switch

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Title:	矽基板液晶式Fabry-Perot濾光片/光開關;Silicon-Based Liquid Crystal Fabry-Peort Filter/Switch
Authors:	陳奕晉;Yi-Chin Chen
Contributors:	光電科學研究所
Keywords:	光開關;濾光片;矽基板;液晶;switch;silicon-based;Fabry-Perot;filter
Date:	2004-07-02
Issue Date:	2009-09-22 10:25:09 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	液晶式Fabry-Perot微調濾光片的特點為結構簡單、低損耗、低驅動電壓、低半高寬、應答時間短和較寬的波長微調範圍。矽基板液晶式Fabry-Perot濾光片除了保有原有的各種優點外，還能使體積更微小化，另外，可以利用蝕刻的方式控制空間層共振腔的厚度，取代以間隔物 ( Spacer ) 定義厚度的方式。期望往後能將此一元件實際應用在光學系統上，達到Silicon on Chip的積體化目的。本文以紅外光為光源，以矽基板取代常用的玻璃基板，鍍上金屬當做電極和反射層，液晶為調變材料，以外加電壓控制液晶的折射率，達到調變波長的效果，做成矽基板液晶式Fabry-Perot濾光片或光開關。我們設計了三種共振腔厚度的樣品：10.65、13.31和20μm，比較了FSR、FWHM和Finess，數值分別在23.6~48.2nm、4.2~5.4nm和4.72~8.92的範圍內。另外也以四種不同的外加電壓頻率1KHz、10KHz、100KHz和1MHz，比較其穿透光譜，並討論元件的優缺點。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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