平面雙軸式磁通閘之製作與改良

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題名:	平面雙軸式磁通閘之製作與改良
作者:	許皓雲;Hsu, Hao-Yun
貢獻者:	機械工程學系
關鍵詞:	磁通閘;感測器
日期:	2017-01-04
上傳時間:	2017-05-05 17:41:55 (UTC+8)
出版者:	國立中央大學
摘要:	磁力計為量測磁場並輸出與磁場大小成正比的電壓訊號的元件，隨著科技的日新月異，磁力計已大量地被運用在醫學、工業、行動裝置等領域，但本研究的主題 - 磁通閘因為一直有著體積過大的問題，以致於手機與行動裝置這個巨大的市場被霍爾式磁力計壟斷，因此本研究的主要目的即為縮小磁通閘的體積，並且進行增加靈敏度等各種優化與改良，以期能使磁通閘在各個領域上擁有更大的優勢。本研究使用半導體製程成功製作出平面型雙軸式磁通閘，其體積為50 mm × 50 mm × 2 mm，並先量測其單軸感應電壓，接著串聯整合兩個磁通閘，成功使其靈敏度加倍。最後搭配縮小的鎖相放大電路板進行量測，此磁通閘最終雙軸皆會擁有至少275 V/T左右的靈敏度與0 ~ 70 μT的線性度。另外本研究還對一個簡易的鎖相放大電路進行正比輸出模擬、相位移模擬與雜訊濾波模擬，接著實測各種RC組合尋找最合適參數，成功將鎖相放大電路縮小至50 mm × 50 mm的電路板上。 ;Nowadays, sensors are widely used in cars, medical equipment, and intelligent systems for various applications. For magnetic field detections, several types of magnetic field sensors are developed with different limitations. This research is aimed to develop magnetic flux gate with dynamic range of tens of μT. Multisim is applied to simulate the performance of the lock-in amplifier circuit on the PCB. Different parameters of resistance and capacitance were adapted in order to find the best output from lock-in amplifier. In this research, the two-axis micro planar fluxgate magnetic sensor was made successfully in size 50 mm × 50 mm, and both axes at least have linear range 0 ~ 75 μT with sensitivity 275 V/T.
顯示於類別:	[機械工程研究所] 博碩士論文

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