製備新穎可撓曲、雙面雙尺度矽單晶微奈米結構光偵測元件及其自驅動近紅外光感測特性分析;Fabrication of Novel Flexible Double-Sided Micro-/Nano-Sized Hierarchical Si Structure Photodetectors and Their Self-Powered Near-Ir Photo-Detection Properties

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题名:	製備新穎可撓曲、雙面雙尺度矽單晶微奈米結構光偵測元件及其自驅動近紅外光感測特性分析;Fabrication of Novel Flexible Double-Sided Micro-/Nano-Sized Hierarchical Si Structure Photodetectors and Their Self-Powered Near-Ir Photo-Detection Properties
作者:	國立中央大學化學工程與材料工程學系
贡献者:	國立中央大學化學工程與材料工程學系
关键词:	可撓曲薄矽晶基材;金屬催化蝕刻;漸變折射率;無電鍍銀奈米粒子;蕭基接面;近紅外光感測器;Thin flexible Si substrate;metal-catalyzed etching;graded refractive index;electroless Ag nanoparticles;Schottky junction;near-infrared detector
日期:	2022-07-26
上传时间:	2022-07-27 10:38:00 (UTC+8)
出版者:	科技部
摘要:	本計畫所研發可在常壓低溫下，以一步驟直接製備出可撓曲且雙面具漸變折射率孔洞結構矽單晶基材及分段式室溫無電鍍金屬鍍膜技術之新穎製程設計，完全不須使用昂貴複雜之半導體微影蝕刻機台，可提供一般學、研實驗室安全快速地進行各式半導體晶片薄化新製程開發及新元件結構製備之參考。而本計畫所提之新穎薄型可撓曲且雙面具漸變折射率之銀奈米粒子/雙尺度矽單晶微奈米結構自驅動蕭基近紅外光感測元件設計，相信在先進太陽能電池、氣體偵測器、生化感測器、穿戴式半導體奈米電子元件等產業領域上也將有很大的應用潛力。
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
显示于类别:	[化學工程與材料工程學系 ] 研究計畫

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