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    題名: 標準晶圓製程下之微共振腔整合設計;Process Integration for Design Ideality of Waveguide-Based Resonators
    作者: 國立中央大學光電科學與工程學系
    貢獻者: 國立中央大學光電科學與工程學系
    關鍵詞: 微共振腔;製程整合;雷射耦合;波導設計;Microresonator;silicon photonics;process integration;laser coupling;waveguide design
    日期: 2022-07-26
    上傳時間: 2022-07-27 10:45:08 (UTC+8)
    出版者: 科技部
    摘要: 矽光子晶片已被廣泛應用於高速計算,高頻通訊以及晶片實驗感測上。利用現今成熟的金氧半導體製程,我們可以應用各種介電材料製作波導晶片,並達到小尺寸、低成本、快速大量生產、高良率的特性。本計畫將以矽光子晶片及半導體製程技術為基礎,建立更有彈性的製程方式以減少製程的困難度,同時達到高素質共振腔的要求。利用紫外光步進機做為曝光及圖案化波導之光源。配合優先蝕刻光纖凹槽的方式,預期可以降低過去製作光纖凹槽時的蝕刻複雜度,並和前端製程及光罩做結合,降低其成本。同時減少高應力沉積所造成的波導缺陷。第二部分將利用300~400 nm 單邊漸進奈米波導增加共振腔和波導之耦合程度。並討論氮化鎵波導之製程整合可行性。
    關聯: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    顯示於類別:[光電科學與工程學系] 研究計畫

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