晶圓級超穎光學: 從設計、製造、到量測方法;Wafer Level Meta-Optics: from Design， Fabrication， to Characterization.

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题名:	晶圓級超穎光學: 從設計、製造、到量測方法;Wafer Level Meta-Optics: from Design， Fabrication， to Characterization.
作者:	王智明
贡献者:	國立中央大學光電科學與工程學系
关键词:	超穎光學;傅氏相位差顯微鏡;色彩路由器;點陣投影;影像感測器;meta-optics;Fourier phase contrast microscopy;color router;dot-projection;imaging sensor
日期:	2024-09-27
上传时间:	2024-09-30 15:53:00 (UTC+8)
出版者:	國家科學及技術委員會(本會)
摘要:	本計畫旨在發展晶圓級超透鏡光學技術。我們將建立晶圓級超透鏡光學複振幅檢測技術，超透鏡光學複振幅檢測技術一直是超透鏡光學領域缺乏的技術，我們將發展多波長傅氏相位差顯微術，用於量測超透鏡光學元件相位空間分布，並利用共軛焦顯微鏡測量穿透率空間分布。同時將發展兩個商業價值高的應用主題：【多指向性超透鏡光學元件：基於發散光源的FaceID超透鏡光學元件】其為同時具有匯聚和產生點陣功能的超透鏡光學元件，另一應用【基於KrF 248 nm曝光機製程限制的色彩路由器：高效率影像感測器】。我們將研發符合KrF 248 nm曝光機製程限制的可見光色彩路由器，作為影像感測器外部量子效率高於120%的光捕獲結構。
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
显示于类别:	[光電科學與工程學系] 研究計畫

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