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    題名: 應用於半導體製程氣體特性監控之智慧型波前感測技術開發(II);Smart Wavefront Sensing for Gas Measurement in Semiconductor Processing (II)
    作者: 韋安琪;施至柔
    貢獻者: 國立中央大學能源工程研究所
    關鍵詞: 電漿製程;氣體濃度分佈感測;氣體折射率分佈感測;改良式Hartmann二維光柵;Plasma processing;Gas density meter;Gas refractometer;Modified-Hartmann-2D-grating sensor
    日期: 2024-09-27
    上傳時間: 2024-09-30 17:10:00 (UTC+8)
    出版者: 國家科學及技術委員會(本會)
    摘要: 本計畫延續前期之波前感測技術,預計第一年增補現有設備以建置低壓與電漿環境,研製電漿環境氣體濃度感測系統,以於電漿環境下感測氣體折射率分布並換算濃度分布;第二年將自製改良式Hartmann 二維光柵(Modified Hartmann 2D Grating, MHG)元件,搭配影像感測器,組成改良式Hartmann 二維光柵感測裝置,以提升系統解析效能。此電漿環境氣體折射率及濃度分佈檢測技術之研發,有助於提升精準製程之監控能力,並促進關鍵製程設備之自主研發。
    關聯: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    顯示於類別:[能源工程研究所 ] 研究計畫

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