半導體製程氫氣回收與純化裝置關鍵零組件性能評估研究;Performance Evaluation of the Key Component of Hydrogen Recovery and Purification Device for Semiconductor Fabrication Process

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Title:	半導體製程氫氣回收與純化裝置關鍵零組件性能評估研究;Performance Evaluation of the Key Component of Hydrogen Recovery and Purification Device for Semiconductor Fabrication Process
Authors:	陳震宇
Contributors:	國立中央大學機械工程學系
Keywords:	半導體製程;餘氫回收;電化學泵;氫氣純化;質子交換膜;semi-conductor fabrication process;waste hydrogen recovery;electrochemical hydrogen pump;hydrogen purification;proton exchange membrane
Date:	2024-09-27
Issue Date:	2024-09-30 17:59:04 (UTC+8)
Publisher:	國家科學及技術委員會(本會)
Abstract:	1. 可提高半導體業或其他耗氫工業之廠區綠電量，進而增加產業可用碳權額度，增強未來30年台灣產業面對全球碳關稅壓力時的產業競爭力； 2. 半導體業乃台灣目前重點發展產業，發展半導體製程餘氫回收技術將可增加台灣氫能產業之出海口，可進一步茁壯台灣氫能產業與創造新形態綠能經濟模式； 3. 本研究預期可對綠氫技術做出貢獻，進而提升台灣2050年達成淨零排碳目標之機會，幫助全球均溫上升限制在1.5°C，同時也增進國際社會對於台灣抑制全球暖化工作上之認可； 4. 維持台灣於全球氫能與燃料電池之學術研究地位。
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
Appears in Collections:	[Departmant of Mechanical Engineering ] Research Project

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