高靈敏度CMOS-MEMS勞倫茲力磁力計之開發;Development of Highly Sensitive Cmos-Mems Lorentz Force Magnetometer

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題名:	高靈敏度CMOS-MEMS勞倫茲力磁力計之開發;Development of Highly Sensitive Cmos-Mems Lorentz Force Magnetometer
作者:	陳世叡
貢獻者:	國立中央大學機械工程學系
關鍵詞:	磁力計;控制器;同時感測;magnetometer;controller;simultaneous sensing
日期:	2024-09-27
上傳時間:	2024-09-30 18:00:23 (UTC+8)
出版者:	國家科學及技術委員會(本會)
摘要:	CMOS MEMS磁力計具有微型且不須使用磁性材料的優點，可與物聯網技術結合，應用範圍廣泛。本計畫提出了高靈敏度的三軸磁場感測技術，可同步感測不同軸向之磁場，預期可結合數據分析技術，拓展相關產業的技術能量。
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:	[機械工程學系] 研究計畫

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