English  |  正體中文  |  简体中文  |  全文筆數/總筆數 : 80990/80990 (100%)
造訪人次 : 42771403      線上人數 : 766
RC Version 7.0 © Powered By DSPACE, MIT. Enhanced by NTU Library IR team.
搜尋範圍 查詢小技巧：
  • 您可在西文檢索詞彙前後加上"雙引號"，以獲取較精準的檢索結果
  • 若欲以作者姓名搜尋，建議至進階搜尋限定作者欄位，可獲得較完整資料
    •  進階搜尋


    請使用永久網址來引用或連結此文件: http://ir.lib.ncu.edu.tw/handle/987654321/94365


    題名: 雙波長偏振干涉儀之研發與精密量測之應用;Development and Precision Measurement Applications of Dual-Wavelength Polarization Interferometer
    作者: 李朱育
    貢獻者: 國立中央大學機械工程學系
    關鍵詞: 偏振干涉儀;雙波長技術;波長可調光源;形貌量測;粗糙表面;Polarization Interference;Dual-Wavelength Technique;Wavelength- Tunable Source;Surface Profile Measurement;Rough Surface
    日期: 2024-09-27
    上傳時間: 2024-09-30 18:01:08 (UTC+8)
    出版者: 國家科學及技術委員會(本會)
    摘要: 本計畫所開發的雙波長與連續波長調制偏振干涉量測技術，突破傳統干涉儀僅能量測光滑表面形貌的限制，適用於各種物體表面形貌的量測，且具有高精度的優勢。半導體及相關精密製程產業中所需的材料或元件品質檢測，均可透過本計畫開發之量測技術進行檢測，將可有效提升相關精密製程之良率，增加台灣產業競爭力。
    關聯: 財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
    顯示於類別:[機械工程學系] 研究計畫

    文件中的檔案:

    檔案 描述 大小格式瀏覽次數
    index.html0KbHTML37檢視/開啟


    在NCUIR中所有的資料項目都受到原著作權保護.

    社群 sharing

    ::: Copyright National Central University. | 國立中央大學圖書館版權所有 | 收藏本站 | 設為首頁 | 最佳瀏覽畫面: 1024*768 | 建站日期：8-24-2009 :::
    DSpace Software Copyright © 2002-2004  MIT &  Hewlett-Packard  /   Enhanced by   NTU Library IR team Copyright ©   - 隱私權政策聲明