CMOS-MEMS慣性感測器之設計與開發;Design and Development of a Cmos-Mems Inertial Sensor

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Title:	CMOS-MEMS慣性感測器之設計與開發;Design and Development of a Cmos-Mems Inertial Sensor
Authors:	陳世叡
Contributors:	國立中央大學機械工程學系
Keywords:	感測器;微機電系統;CMOS;sensor;MEMS;CMOS
Date:	2025-07-31
Issue Date:	2025-08-07 17:25:27 (UTC+8)
Publisher:	國家科學及技術委員會(本會)
Abstract:	慣性感測器具有量測物體運動姿態的功能，經常用於自動化系統之姿態角及位置定位，可在聯網系統發揮重要作用。微機電感測器具微型且低功耗的優點，本計畫提出了高靈敏度的慣性感測技術，預期可結合數據分析技術，有效偵測外在物理量變化，提高自動化控制的精確度。
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
Appears in Collections:	[Departmant of Mechanical Engineering ] Research Project

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