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姓名	袁崑益(Kuin-Yi Young)  查詢紙本館藏	畢業系所	光電科學與工程學系
論文名稱	光學薄膜熱傳導特性量測之研究
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摘要(中)	熱的特性中，熱傳導係數是蠻常見的材料特性參數。熱傳導係數在塊材時和製鍍成薄膜後，會有不同，甚至不同製成條件，也會有不同的熱傳導係數。在本文中，希望能以較精確的理論和架構求得薄膜的熱傳導係數，以及控制薄膜的製成條件，來提升熱傳導係數。
關鍵字(中)	★ 熱傳導	關鍵字(英)
論文目次	摘要……………………………………….……………………………Ⅰ 誌謝……………………………………….……………………………Ⅱ 目錄……………………………………….……………………………Ⅲ 圖目錄…………………………………….……………………………Ⅴ 表目錄…………………………………….……………………………Ⅵ 正文 ……………………………………….……………………………1 一． 導論……………………………….……………………………1 二． 基本理論……………………………….………………………2 三． 實驗架構及步驟 3-1 蒸鍍系統………………….……………….…………….8 3-1-1 真空系統……………………………………………8 3-1-2 薄膜材料蒸發系統……………………………….9 3-1-3 離子源輔助鍍膜系統………………….…………9 3-1-4 監控系統……………………………….…..……10 3-2 量測系統………………………………….………………10 3-2-1 可見光及近紅外光量測系統……………………11 3-2-2 熱傳導量測儀…………………………...……11 3-3 實驗步驟………………….……………….………….12 3-3-1 以蒸鍍系統蒸鍍待測的材料……………………12 3-3-2 以自製的熱傳導量測熱儀量測…………………13 四． 實驗結果………………….………………….……………..16 4-1 薄膜的光學常數及熱傳導係數量測結果…………16 4-1-2 結果分析……………………………………24 4-2 與其它參考文獻的比較………………………….25 4-2-1 與參考文章(10)的比較……………………25 4-2-2 各種量測方式的比較………………………25 4-2-2-1 Photothermal 的量測方式…………28 4-2-2-2 ISLC ……………………………..…30 五． 結論…………………………………………………...……33 參考資料………………………………………………………………34
參考文獻	參考資料： 1. D.Y.Tzou , Macro- to Microscale Heat Transfer, Taylor&Francis,1996 ,P11-20 2. J.R.Dryden ,”The Effect of a Surface Coating on the Constriction Resisance of a Spot on an Infinity Half-Plane” Journal of Heat Transfer, vol 105 ,1983,P408 3. Ian.N.Sneddon, The Use of Integral Transforms ,McGraw-Hill, Toronto,1972 ,P325 4. Gradshteyn,I.S and Ryzhik,I.B , Table of Integrals, Series and Products ,Acacemic Press ,Toronto,1980,P.763 5. Warren M.Rohsenow , James P.Hartnett and Young .Cho, Handbook of Heat Transfer, McGraw-Hill Handbools,1998 6. Z.L.Wu , M.Reichling , X.Q.Hu , K.Balasubranian , and K.H. Guenther , “Absorption and thermal conductivity of oxide thin films measured by photothermal displacement and reflection”, Appl. Opt. Vol 32 No 28 ,1993,P5660-5665 7. Detlev Ristau and Johannes Ebert , “Development of a thermographic laser calorimeter” , Appl. Opt. Vol.25 No.24 ,1986,P4571-4578 8. JC Lambropoulos , M.R. Jolly , C.A. Amsden , S.E. Gilman , M.J.Sinicropi , D.Diakomihalis and S.D. Jacobs “Thermal conductivity of dielectric thin film “ , J.Appl.Phys. 66(9), 1989 P4230-4242 9. H.S.Carslaw and J.C.Jaeger “Conduction of Heat in Solids”, Oxford University Press Toronto , 1959 ,P214 1. 朱陳葳，”光學薄膜之熱傳導係數與熱膨脹係數的研究”，國立中央大學，1999 11. 李正中，薄膜光學與鍍膜技術，藝軒圖書,1999,p149 12. Z.L.Wu , P.K.Kuo and Christopher Stolz , “Photothermal characterization of optical thin film coatings” , Opt. Eng. Vol. 36 No. 1 , Jan 1997,P251-262 13. Manifacier J.C. , Gasiot J. and Filland J.P. , “Simple method for determination of optical constant n,k and the thickness of weekly absorbing thin films “ , J.phy.E:Sci.Inst.9, ,1976 P1002-1004 14. Swanepoel R. ,”Determination of the thickness and optical constant on amorphous silicon “, J.phy.E:Sci.Inst.16, 1983, P1214-1222 1. 顏培夫，劉旭，黃勝軍，唐普發，”建築節能鍍膜玻璃熱傳導系數的研究” ，光學學報 第十六卷 第十二期 1996年十二月 p1832-1934 16. 曲喜新，”現代化介質薄膜”，電子元件與材料 第十五卷第四期 1996年八月 p1-4
指導教授	李正中(Cheng-Chung Lee)	審核日期	2000-6-29
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