極化繞射光學元件製作與檢測

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姓名

張育淇(Yu-Chi Chang) 查詢紙本館藏

畢業系所

光電科學與工程學系

論文名稱

極化繞射光學元件製作與檢測
(極化繞射光學元件製作與檢測)

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摘要(中)

本文利用具雙折射性質的方解石晶體，以及折射率匹配塑膠，製作出偏極化選擇的繞射式光學元件。使之對入射光的偏極化方向具有選擇性，只讓特定偏極方向的光波產生繞射。
在兩種不同切割方向的方解石基板上，我們以濕蝕刻製作了線寬從4μm到8μm的二階光柵圖案，加上匹配塑膠層後成為一偏極化的分光元件。在測試繞射光強的分布後，發現所製作的元件能夠用軟體模擬出其繞射行為。
濕蝕刻的過程中，我們觀察到呈現矩形與V字型的蝕刻溝槽，因此我們設計並且製作了具有V-型光柵結構的偏極片，光柵週期為8μm、12μm與16μm。此元件使特定方向的偏極光產生繞射，而讓原入射方向只剩下另一偏極方向的光，我們量測的消光比最小到達0.009。

關鍵字(中)

★ 方解石
★ 光學元件
★ 極化繞射

關鍵字(英)

★ diffraction optical element
★ Polarization selective

論文目次

論文摘要
目錄
圖表索引
第一章、序論
第二章、基本原理
2-1 極化繞射光學元件結構
2-2 二階相位光柵
2-3方解石晶體及光學特性
2-4元件
第三章、元件製作
3-1方解石基板製備
3-2微影製程
3-3 蝕刻製程.
3-4塗佈折射率匹配塑膠
第四章、方解石的蝕刻
4-1 ﹛10 1﹜解理面
4-2 ﹛11 0﹜面
4-3 等向性與非等向性蝕刻
4-4蝕刻的問題
第五章、元件與繞射效率
5-1 ﹛10 1﹜解理面
5-2 ﹛11 0﹜面
5-3 線性偏極片
第六章、結論
參考文獻

參考文獻

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指導教授

張正陽(J. Y. Chang)

審核日期

2002-7-10

推文