Investigation of the amorphous to microcrystalline phase transition of thin film prepared by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition method

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題名:	Investigation of the amorphous to microcrystalline phase transition of thin film prepared by electron cyclotron resonance chemical vapor deposition method
作者:	李建階;Chang, Teng-Hsiang;Chang, Jenq-Yang;Chu, Yen-Ho;Lee, Chien-Chieh;Chen, I-Chen;Li, Tomi
貢獻者:	光電科學研究中心
關鍵詞:	Cross-disciplinary physics: materials science;rheology;Exact sciences and technology;Materials science;Methods of deposition of films and coatings;film growth and epitaxy;Physics;Surface treatments
日期:	2013-09-25
上傳時間:	2026-04-23 11:21:43 (UTC+8)
出版者:	Elsevier;Amsterdam: Elsevier BV
摘要:	出版者： Amsterdam: Elsevier BV 出版日期： 2013-09-01 出處： Surface & coatings technology, 2013-09, Vol.231, p.604-607 版權： 2014 INIST-CNRS 識別號： ISSN: 0257-8972 識別號： DOI: 10.1016/j.surfcoat.2012.10.008 識別號： CODEN: SCTEEJ
顯示於類別:	[光電科學研究中心] 期刊論文

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