多晶矽/氮化矽複合薄膜光學元件之研究與應用; Investigation and Application of Optical Elements on Poly Silicon/Silicon Nitride Composite Membrane

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题名:	多晶矽/氮化矽複合薄膜光學元件之研究與應用;Investigation and Application of Optical Elements on Poly Silicon/Silicon Nitride Composite Membrane
作者:	紀國鐘
贡献者:	物理系
关键词:	物理類
日期:	2005-07-01
上传时间:	2010-11-30 16:42:13 (UTC+8)
出版者:	行政院國家科學委員會
摘要:	在現今影像擷取、光儲存、光通訊等系統中，微光學元件已成為不可或缺的組件。進一步更可以作為光子晶體、奈米科學研究的重要載具。在傳統光學中，結合不同材質而形成的複合元件由於可以設計成低色散、像差小或高數值孔徑等不同性質，早已廣泛應用在許多光學系統中。進入到微米尺度的領域時，現行對於微光學元件的研究，諸如繞射透鏡、光柵、全像片等都是單一材料，尚未有對複合微光學元件做深入研究的。基於本實驗室在薄膜光柵上的研究，我們已經可以穩定製作出在紫外光波段高穿透率、低應力的氮化矽薄膜。利用這個基礎，我們計畫於氮化矽薄膜上再沈積一層多晶矽來製作成雙層複合低應力薄膜，藉由量測不同波段的吸收光譜來對複合膜的光性及成份做分析與調變。然後在多晶矽層做加工製作出我們所設計的微光學元件，如；微透鏡、繞射透鏡、光柵、全像片等等。有選擇性地轉移部份結構至氮化矽薄膜，而形成簡單的複合微光學元件。或者先在氮化矽薄膜製作出第一層微光學元件結構，如光柵。再沈積一層多晶矽覆蓋於其上，再製作成第二層微光學元件結構，如二階繞射透鏡。而形成多功能的複合微光學元件。我們也知道當元件結構的尺度降到次波長時，會與電磁波純量繞射理論有所不同。所以傳統複合光學元件的尺寸若降至波長尺度時，設計元件時所依據的理論，其適用性將可以做驗證。再對照於元件特性量測的結果來發現差異處，用以修正模擬時的理論模型，也有助於獲得更多有關複合膜元件的瞭解。研究期間：9308 ~ 9407
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
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