矽基材料共振波導光柵之濾波器; Si-based Guided Mode Resonance Filter

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Title:	矽基材料共振波導光柵之濾波器;Si-based Guided Mode Resonance Filter
Authors:	周昱宏;Yue-Hom Chou
Contributors:	光電科學研究所
Keywords:	矽基;波導光柵;濾波器;filter;GMR
Date:	2005-07-06
Issue Date:	2009-09-22 10:30:01 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	光學濾波器，雖然不易觀察到，但在光學領域中，卻是最重要的，它可以篩選出想要之波長，或是摒除不要之波長，而在傳統製作之濾波器，都是利用薄膜堆積產生之干涉所達到濾波之效果，但由於其為多層薄膜堆疊，因此相對而言製程容忍度低。本論文利用了新形式的方式產生濾波的效果，其主要是利用次波長光柵加上波導在其相位匹配時，會產生之共振情形，因而使得其穿透頻譜具有篩選波長的能力，達到濾波的效果。現今的台灣，全世界半導體的重鎮，對於製作在矽基版上面的元件非常得心應手，現階段的製成對於製作次波長的線寬來說也不是問題，而且已經朝向幾十奈米的線寬邁進。因此，本文利用目前已經發展成熟的半導體製程技術與微光機電系統（Micro-Optical-Electro-Mechanical-Systems，MOEMS）製程技術來製作矽基版波導模態共振濾波器。而且由於其製作在矽基版上，容易和其他矽基元件整合，因此可以容易整合成SoC（System on a Chip）系統。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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