標準晶圓製程下之微共振腔整合設計;Process Integration for Design Ideality of Waveguide-Based Resonators

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Title:	標準晶圓製程下之微共振腔整合設計;Process Integration for Design Ideality of Waveguide-Based Resonators
Authors:	國立中央大學光電科學與工程學系
Contributors:	國立中央大學光電科學與工程學系
Keywords:	微共振腔;製程整合;雷射耦合;波導設計;Microresonator;silicon photonics;process integration;laser coupling;waveguide design
Date:	2022-07-26
Issue Date:	2022-07-27 10:45:08 (UTC+8)
Publisher:	科技部
Abstract:	矽光子晶片已被廣泛應用於高速計算，高頻通訊以及晶片實驗感測上。利用現今成熟的金氧半導體製程，我們可以應用各種介電材料製作波導晶片，並達到小尺寸、低成本、快速大量生產、高良率的特性。本計畫將以矽光子晶片及半導體製程技術為基礎，建立更有彈性的製程方式以減少製程的困難度，同時達到高素質共振腔的要求。利用紫外光步進機做為曝光及圖案化波導之光源。配合優先蝕刻光纖凹槽的方式，預期可以降低過去製作光纖凹槽時的蝕刻複雜度，並和前端製程及光罩做結合，降低其成本。同時減少高應力沉積所造成的波導缺陷。第二部分將利用300~400 nm 單邊漸進奈米波導增加共振腔和波導之耦合程度。並討論氮化鎵波導之製程整合可行性。
Relation:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
Appears in Collections:	[Department of Optics and Photonics] Research Project

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