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类别 |
日期 |
题名 |
作者 |
档案 |
| [薄膜技術研究中心] 期刊論文 |
2006 |
Microstructure of magnesium fluoride films deposited by boat evaporation at 193 nm |
Liu,Ming-Chung; Lee,Cheng-Chung; Kaneko,Masaaki; Nakahira,Kazuhide; Takano,Yuuichi |
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| [薄膜技術研究中心] 期刊論文 |
2006 |
Microstructure- and composition-related characteristics of LaF3 thin films at 193 nm |
Liu,Ming-Chung; Lee,Cheng-Chung; Kaneko,Masaaki; Nakahira,Kazuhide; Takano,Yuuichi |
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| [薄膜技術研究中心] 期刊論文 |
2008 |
Fluoride antireflection coatings deposited at 193 nm |
Liu,Ming-Chung; Lee,Cheng-Chung; Liao,Bo-Huei; Kaneko,Masaaki; Nakahira,Kazuhide; Takano,Yuuichi |
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