矽晶太陽能電池製程中雙層網印電極之誤差檢測與補正

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楊集仁(Ji-Ren Yang) 查詢紙本館藏

畢業系所

機械工程學系

論文名稱

矽晶太陽能電池製程中雙層網印電極之誤差檢測與補正
(The Inspection and Compensation Technology for Dual Layers of Electrode Printing on the Manufacturing of Silicon Solar Cells)

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摘要(中)

矽晶太陽能電池製程中利用網版印刷製作金屬電極的方式來生產太陽電池，為了提高電池本身的效率，由原本的一次電極塗佈改良為兩次電極塗佈，原來較寬的電極變較窄而且高度較高。傳統一次塗佈精度要求不高，而兩次塗佈產生對位誤差使得兩層電極發生錯位問題將是轉換效率提升的關鍵因素，因此本研究針對兩次塗佈電極之檢測及補正流程，發展多項技術，包括：影像處理技術、誤差比對技術、塗佈機台控制介面、檢測系統整合等，並導入檢測資料庫，發展影像特徵對位演算法，將兩次塗佈電極對位誤差降至50 μm內。本研究規劃五種不同實驗以驗證各種精度，包括：軟體運算精度分析、電極塗佈機台塗佈重現性分析、軟體座標與塗佈機台座標轉換誤差分析、單次電極塗佈補正分析和兩次電極塗佈補正分析，實驗結果驗證本研究所發展影像檢測與精度補正方法的可行性。

摘要(英)

The screen printed metallization process is one of the standard manufacturing processes for the production of silicon solar cells. To enhance the efficiency of the solar cell, a technology for dual layers of electrode printing is developed, which increases the height of the electrode, while reduce its width. Traditionally, the electrode on the wafer is printed once and its width should be long enough in order to keep a certain amount of cross-sectional area. However, the misalignment of two layers of electrode is a significant problem for such a new process. The objective of this research is to develop an image-based inspection and compensation technology for dual layers of electrode printing. Several techniques are developed for the inspection and compensation of the errors, including image processing, error comparison, control and interfacing with the printing machine and integration with the inspection system. The goal of the proposed system is to reduce the error to 50 μm. Five different sets of experiments are conducted and experimental results are analyzed to verify the feasibility of the proposed system.

關鍵字(中)

★ 座標定位
★ 影像處理
★ 網印誤差
★ 兩次電極塗佈
★ 轉換效率
★ 矽晶太陽能電池

關鍵字(英)

★ dual layers of electrode printing
★ conversion efficiency
★ error on screen printing
★ image processing
★ registration
★ Solar cells

論文目次

摘要........................................................................................................................I
ABSTRACT......................................................................................................... II
誌謝..................................................................................................................... III
目錄.....................................................................................................................IV
圖目錄.................................................................................................................VI
表目錄.............................................................................................................. VIII
第一章緒論......................................................................................................... 1
1.1 前言......................................................................................................... 1
1.2 文獻回顧................................................................................................. 2
1.3 研究目的與方法..................................................................................... 4
1.3.1 研究目的....................................................................................... 4
1.3.2 研究方法....................................................................................... 7
1.4 論文架構............................................................................................... 10
第二章太陽能電池製程介紹與電極塗佈誤差來源....................................... 12
2.1 前言........................................................................................................ 12
2.2 太陽能晶片網版印刷介紹.................................................................... 12
2.3 太陽能晶片新舊製程介紹................................................................... 15
2.4 太陽能晶片電極塗佈誤差來源分析................................................... 20
2.4.1 單次電極塗佈誤差來源............................................................. 20
2.4.2 兩次電極塗佈誤差來源............................................................. 22
第三章兩次電極塗佈誤差補正方法............................................................... 24
3.1 前言.......................................................................................................24
3.2 兩次電極塗佈誤差補正流程...............................................................24
3.3 太陽能晶片局部影像擷取...................................................................27
3.4 電極塗佈誤差補正軟體介紹................................................................30
3.4.1 晶片與電極邊界辨識.................................................................30
3.4.2 誤差補償值計算.........................................................................32
3.5 軟體與補償機台座標值轉換...............................................................34
3.6 檢測資料庫建立...................................................................................38
第四章電極塗佈精度實驗與結果探討........................................................... 40
4.1 前言........................................................................................................40
4.2 軟體運算精度分析................................................................................43
4.3 電極塗佈機台重現性分析....................................................................48
4.4 軟體座標與塗佈機台座標轉換誤差分析...........................................53
4.5 單次電極塗佈補正分析.......................................................................57
4.6 兩次電極塗佈分析與補正結果............................................................60
第五章結論與未來展望................................................................................... 67
5.1 結論....................................................................................................... 67
5.2 未來展望............................................................................................... 70
參考文獻............................................................................................................. 71

參考文獻

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指導教授

賴景義(Jiing-Yih Lai)

審核日期

2010-7-12

推文