博碩士論文 972212004 詳細資訊




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姓名 張建宏(Jain-hong Zhang)  查詢紙本館藏   畢業系所 光電科學與工程學系
論文名稱 大尺寸LED晶粒固晶之研究
(Study of Die Bonding for Large-Size LED Die)
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摘要(中) 在本研究中,我們發展超大尺寸晶粒固晶製程技術,以金錫共晶合金固晶製程為主要研究方向,發展其製程配方、特性量測與性能評估。製程配方的參數包含了最高的製程溫度、最高溫度的持續時間、溫度斜率、下壓力、氮氣施加方式與助焊劑。特性量測選用掃描式超音波顯微鏡檢測黏著狀態、穩態紅外線熱阻量測法檢測熱阻以及使用推拉力機量測黏著強度,再藉由這些特性量測做性能分析。
固晶黏著材料除了金錫共晶合金以外,還有一般銀膠、高導熱銀膠、錫膏和預成型錫片,因此我們針對同一的基板與晶粒做不同黏著材料的固晶製程,並對這些不同固晶方式進行比較。
摘要(英) In this thesis, we study the processing technology of eutectic Gold/Tin alloy for an extra-large-size LED die. We develop the recipe of eutectic process and analyze the characteristic of measuring results. The corresponding parameters include highest temperature, temperature profile, bonding force, nitrogen condition and flux for eutectic process. In the measurement procedures of die bonding process, we apply infrared system to measure the thermal resistance and use bonding tester to estimate the die shear strength. Bonding state between die and substrate is inspected by scanning acoustic microscope. Finally, we compare the characteristic of experimental results, including silver paste, high thermal conductivity silver epoxy adhesive, solder paste, solder perform, among difference die bonding processes.
關鍵字(中) ★ 超音波檢測
★ 熱阻
★ 推力測試.
★ 固晶技術
★ 超大尺寸LED晶粒
★ 金錫共晶合金
關鍵字(英) ★ Die Shear Strength
★ Scanning Acoustic Microscope.
★ Thermal Resistance
★ Eutectic Gold/Tin Alloy
★ Die Bond
★ Extra-Large-Size LED Die
論文目次 目錄
摘要 i
Abstract ii
誌謝 iii
目錄 v
圖索引 ix
表索引 xiv
第一章 緒論 1
1-1 固態照明 1
1-2 LED應用於投影機光源 3
1-3 論文大綱 6
第二章 LED封裝固晶之技術 7
2-1 引言 7
2-2 LED固晶技術介紹 7
2-3 固晶黏著材料 9
2-3-1一般銀膠 9
2-3-2高導熱銀膠 11
2-3-3無鉛錫膏 13
2-3-4預成型錫片 15
2-3-5金錫共晶合金 16
2-4 檢測方式 23
2-4-1掃描式超音波顯微鏡檢測 23
2-4-2熱阻量測 29
2-4-3推力測試 31
第三章 超大尺寸金錫共晶合金固晶製程技術 33
3-1 前言 33
3-2 實驗材料 35
3-2-1超大尺寸測試晶粒 35
3-2-2高散熱基板 37
3-3 實驗設備 39
3-4 實驗步驟 41
3-5 困難排除 44
3-5-1固晶機對位與水平校正 44
3-5-2固晶介面溫度掌握 46
3-5-3銅基板晶片座品質 47
3-5-4吸取頭之改良 48
3-5-5試驗晶片上金錫成份不均之改良 50
3-6 優化方向 52
3-6-1最高溫度 52
3-6-2最高溫度的持續時間 54
3-6-3升溫斜率 54
3-6-4下壓力 54
3-6-5氮氣施加方式 56
3-7 結果 57
3-8 討論 60
第四章 與其他固晶方式之比較 63
4-1 一般銀膠與高導熱銀膠固晶之結果 63
4-2 錫膏與預成型錫片固晶之結果 68
4-3 各種固晶方式的比較 74
第五章 結論 76
參考文獻 77
中英文名詞對照表 79
參考文獻 參考文獻
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指導教授 楊宗勳、孫慶成
(Tsung-Hsun Yang、Ching-Cherng Sun)
審核日期 2010-7-31
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