博碩士論文 90226002 完整後設資料紀錄

DC 欄位	值	語言
DC.contributor	光電科學與工程學系	zh_TW
DC.creator	張育誠	zh_TW
DC.creator	Yu-Cheng Chang	en_US
dc.date.accessioned	2003-7-7T07:39:07Z
dc.date.available	2003-7-7T07:39:07Z
dc.date.issued	2003
dc.identifier.uri	http://ir.lib.ncu.edu.tw:444/thesis/view_etd.asp?URN=90226002
dc.contributor.department	光電科學與工程學系	zh_TW
DC.description	國立中央大學	zh_TW
DC.description	National Central University	en_US
dc.description.abstract	我們實驗主要將微光機電系統（Optical MEMS）之技術，應用在光學讀取頭上，製作出微光學元件，包含Grating、Hologram optical element（HOE）和Fresnel lens等等。 本論文主要將光學讀取頭微小化和積體化，且已創新的架構來執行。目前製作微光學元件的方式有很多種，其主要利用SiNx membrane和通道（Via）的基本結構，來縮小整體光學讀取頭；並在SiNx membrane上，利用乾式蝕刻製作微光學元件，是第一次嘗試，其光學效果與傳統光學元件相似。且利用半導體製程技術，可以做到數微米的線寬，因此可以多利用此方法，運用在不同的光學元件上。 另外，我們運用矽基板的晶格結構和濕式蝕刻的技術，蝕刻出45˚的反射鏡面，方便雷射二極體（LD）能夠順利的達到光碟片，且能順利由光接收器（PD）讀取正確的資料，以上的製作方式與光學模擬相符合，已證明可行性，日後的工作就是精確對準封裝的問題了。	zh_TW
dc.description.abstract	A new optical pickup head is introduced, with its optical components fabricated by the microoptoelectromechanical (MOEMS) technology. Optical elements, such as grating, holographic optical element and Fresnel lens, are made on the SiN membrane. The SiN film was deposited on the silicon wafer by low pressure chemical vapor deposition (LPCVD) or plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). Its advantages include the high transmission efficiency, light weight, and easy packaging for this new proposed optical pickup head.	en_US
DC.subject	電漿輔助化學氣相沉積	zh_TW
DC.subject	45°反射鏡面	zh_TW
DC.subject	感應耦合電漿離子蝕刻	zh_TW
DC.subject	氮化矽	zh_TW
DC.subject	低壓化學氣相沉積	zh_TW
DC.subject	全像光學元件	zh_TW
DC.subject	氫氧化鉀	zh_TW
DC.subject	HOE	en_US
DC.subject	KOH	en_US
DC.subject	45° reflector	en_US
DC.subject	ICP	en_US
DC.subject	Silicon Nitride	en_US
DC.subject	LPCVD	en_US
DC.subject	PECVD	en_US
DC.title	微型光學讀取頭之元件	zh_TW
dc.language.iso	zh-TW	zh-TW
DC.title	Optical Element of Micro-Optical Pickup Head	en_US
DC.type	博碩士論文	zh_TW
DC.type	thesis	en_US
DC.publisher	National Central University	en_US