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| DC.contributor | 光電科學與工程學系 | zh_TW |
| DC.creator | 商中道 | zh_TW |
| DC.creator | Chang-Dau Sung | en_US |
| dc.date.accessioned | 2003-7-16T07:39:07Z | |
| dc.date.available | 2003-7-16T07:39:07Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.ncu.edu.tw:444/thesis/view_etd.asp?URN=90226019 | |
| dc.contributor.department | 光電科學與工程學系 | zh_TW |
| DC.description | 國立中央大學 | zh_TW |
| DC.description | National Central University | en_US |
| dc.description.abstract | 在本論文中主要以可見光做為入射光源，利用玻璃做為基板，鍍上金屬膜做為高反射層與導電層後，反射率約可達 ，分別以空氣及液晶做為共振腔內的介質，利用電壓的加入改變液晶之折射率，使共振腔的光學厚度產生變化，以此特性做出可調式的Fabry-Perot型濾光片。另外我們利用體型細微加工的濕蝕刻技術，在矽晶圓上開出厚度 、大小約 的氮化矽薄膜做為透光區域，在氮化矽薄膜鍍上金屬膜做為高反射層與導電層，以空氣做為共振腔介質，將Fabry-Perot型濾光片微型化。而微型化的可調式Fabry-Perot型濾光則因為配向方式不佳，易造成膜堆損壞，因而未能完成。 | zh_TW |
| DC.subject | 法布理-柏羅 濾光器 | zh_TW |
| DC.subject | Fabry-Perot filters | en_US |
| DC.title | 以微機電製程技術製作Fabry-Perot型濾光片 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh-TW | zh-TW |
| DC.title | Fabrication of Fabry-Perot filters with MEMS technology | en_US |
| DC.type | 博碩士論文 | zh_TW |
| DC.type | thesis | en_US |
| DC.publisher | National Central University | en_US |