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語言 |
| DC.contributor | 光電科學研究所碩士在職專班 | zh_TW |
| DC.creator | 錢德豪 | zh_TW |
| DC.creator | De-Haw Chien | en_US |
| dc.date.accessioned | 2003-7-9T07:39:07Z | |
| dc.date.available | 2003-7-9T07:39:07Z | |
| dc.date.issued | 2003 | |
| dc.identifier.uri | http://ir.lib.ncu.edu.tw:444/thesis/view_etd.asp?URN=90236013 | |
| dc.contributor.department | 光電科學研究所碩士在職專班 | zh_TW |
| DC.description | 國立中央大學 | zh_TW |
| DC.description | National Central University | en_US |
| dc.description.abstract | 論文摘要
本文為積體光學的應用之一，運用半導體製程技術，在以矽為基板，SiO2/Glass/Air為平面光波導 (Planar Waveguide) 的結構中，架設以折射式光學元件 (Refractive Optical Elements，ROEs) 為主的系統。
製程時我們先在矽基板上成長一層2μm厚的氧化矽作為緩衝層(Buffer Layer)，再以1μm厚、高折射率 (n=2) 、高透光率的氮化矽作為系統元件之材料，最後再鋪上一層與元件相同厚度的玻璃材料，折射率為1.53，以SiO2/Glass/Air構成我們的平面波導結構。量測時，我們以He-Ne雷射 (λ=632nm) 透過單模光纖直接耦合入2mm寬的平面波導 (Planar Waveguide) 中的光學系統，由固態浸沒式系統 (Solid Immersion Lens，SIL) 得到小於 0.7μm的聚焦點；且由分光鏡 (Beam Splitter) 的作用，得到清晰的分光效果。
透過本文階段性的成果，我們證明折射式光學元件在平面波導中，是可行的。將來若以平面波導為光學平台、運用半導體製程技術製作，並結合折射式與繞射式光學元件組成系統，則大量快速製造高品質，多功能且輕、薄、短小的光學系統，將指日可待。 | zh_TW |
| DC.subject | 固態浸沒式透鏡 | zh_TW |
| DC.subject | 平面光波導 | zh_TW |
| DC.subject | 折射式元件 | zh_TW |
| DC.subject | ROEs | en_US |
| DC.subject | waveguide | en_US |
| DC.subject | SIL | en_US |
| DC.title | 平面光波導中之折射式元件與系統 | zh_TW |
| dc.language.iso | zh-TW | zh-TW |
| DC.title | Refractive elements and systems on planar waveguide | en_US |
| DC.type | 博碩士論文 | zh_TW |
| DC.type | thesis | en_US |
| DC.publisher | National Central University | en_US |