博碩士論文 91521037 完整後設資料紀錄

DC 欄位 語言
DC.contributor電機工程學系zh_TW
DC.creator陳銘勝zh_TW
DC.creatorMing-Sheng Chenen_US
dc.date.accessioned2004-7-15T07:39:07Z
dc.date.available2004-7-15T07:39:07Z
dc.date.issued2004
dc.identifier.urihttp://ir.lib.ncu.edu.tw:444/thesis/view_etd.asp?URN=91521037
dc.contributor.department電機工程學系zh_TW
DC.description國立中央大學zh_TW
DC.descriptionNational Central Universityen_US
dc.description.abstract本篇論文分別針對氮化鎵發光二極體製程技術中之n型歐姆接觸電極與提升光取出效率方面進行研究分析。在n型歐姆接觸方面,製作Ti/WSix/Ti/Au歐姆接觸電極,在Ti/WSi0.05/Ti/Au (200/400/200/2000 Å)於氮氣環境下800oC、3分鐘熱處理後,可得特徵電阻值約1×10-6 Ω-cm2,不論在穩定性和反射率方面皆較傳統的鈦/鋁/鈦/金電極為佳;在提升光取出效率方面,利用表面圖樣化的方式增進氮化鎵發光二極體光取出效率,由模擬計算可知其對光取出效率有20%的提升,然而由於實驗技術未充分掌握,使得結果不如預期,若能將圖樣的製作技術加改善,必能對發光二極體的光取出效率有所助益。zh_TW
DC.subject光取出效率zh_TW
DC.subject發光二極體zh_TW
DC.subject氮化鎵zh_TW
DC.subjectn型氮化鎵歐姆接觸zh_TW
DC.subjectGaNen_US
DC.subjectLEDen_US
DC.subjectextraction effciencyen_US
DC.subjectn-type GaN ohmic contacten_US
DC.title氮化鎵發光二極體製程技術之研究zh_TW
dc.language.isozh-TWzh-TW
DC.titleProcess of GaN-based Light-emitting Diodeen_US
DC.type博碩士論文zh_TW
DC.typethesisen_US
DC.publisherNational Central Universityen_US

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