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[機械工程學系碩士在職專班 ] 博碩士論文
2017-07-18
氨電漿處理對高介電常數氧化鋯薄膜電容器特性研究;Study on characteristics of high dielectric constant Zirconia thin film capacitors treatment with Ammonia plasma
劉嘉吉
;
Liu, Chia-Chi
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