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    Title: 微熱點與微溫度感測器製作;Micro Hot Spot and Micro Temperature Sensor Manufacturing Process.
    Authors: 黃忠賢;Chung-Hsien Huang
    Contributors: 機械工程研究所
    Keywords: 微機電系統;微系統;微機電;micro system;microelectromechanical systems;MEMS
    Date: 2003-06-26
    Issue Date: 2009-09-21 11:43:59 (UTC+8)
    Publisher: 國立中央大學圖書館
    Abstract: 微小化是現今微光機電系統的趨勢,然而隨著尺寸越來越小,其散熱之問題亦相形重要之。本實驗室已完成微液滴主動冷卻微熱點的方式,即利用冷卻介質之相變化,直接帶走微熱點上的熱而達到冷卻的目的,以期能應用在高效能的微小光機電元件之冷卻上。本實驗即是接續積體化的步驟,利用微機電的技術製作微感測器以及微熱點,本實驗以鉑作為加熱以及溫度感測的材料,因為鉑的電阻-溫度曲線幾乎為線性,且具有穩定不易氧化的金屬特性。實驗之結果顯示以微機電系統技術所製作出來的微感測器,確實可以達到溫度感測與微熱點模擬的功用,並且在製程上所做的結構改進,亦可確實的達到補強的作用。
    Appears in Collections:[機械工程研究所] 博碩士論文

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