Effect of thermal annealing on the optical properties and residual stress of TiO2 films produced by ion-assisted deposition

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題名:	Effect of thermal annealing on the optical properties and residual stress of TiO2 films produced by ion-assisted deposition
作者:	Lee,CC;Chen,HC;Jaing,CC
貢獻者:	光電科學與工程學系
關鍵詞:	TITANIUM-OXIDE FILMS;THIN-FILMS;MICROSTRUCTURE;TEMPERATURE;EVAPORATION
日期:	2005
上傳時間:	2010-07-07 14:11:24 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	The effects of thermal annealing of titanium oxide films deposited by ion-beam assistance at annealing temperatures from 100 degrees C to 300 degrees C on the residual stress and optical properties of the films was investigated. The refractive indices and
關聯:	APPLIED OPTICS
顯示於類別:	[光電科學與工程學系] 期刊論文

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