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    题名: Semiconductor hollow optical waveguides formed by omni-directional reflectors
    作者: Lo,SS;Wang,MS;Chen,CC
    贡献者: 光電科學與工程學系
    日期: 2004
    上传时间: 2010-07-07 14:13:29 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: In this study, a hollow optical waveguide with omni-directional reflectors in silicon-based materials was design, fabricated and characterized. By using dry etching technique, plasma-enhanced chemical vapor deposition for Si/SiO2 thin films and covering a
    關聯: OPTICS EXPRESS
    显示于类别:[光電科學與工程學系] 期刊論文

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