Si nanocrystals embedded in Si suboxide matrix grown by laser-assisted chemical vapor deposition at room temperature

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題名:	Si nanocrystals embedded in Si suboxide matrix grown by laser-assisted chemical vapor deposition at room temperature
作者:	Lee,CT;Lin,CH
貢獻者:	光電科學與工程學系
關鍵詞:	SILANE
日期:	2004
上傳時間:	2010-07-07 14:13:33 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	We present a novel laser-assisted chemical vapor deposition (LACVD) system for growing Si nanocrystals embedded in a Si suboxide matrix at room temperature. Varying growth gas ratio caused the observed photoluminescence (PL) light emission to vary from 1.
關聯:	JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS
顯示於類別:	[光電科學與工程學系] 期刊論文

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