Differential wavelength-scanning heterodyne interferometer for measuring large step height

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題名:	Differential wavelength-scanning heterodyne interferometer for measuring large step height
作者:	Lu,SH;Chiueh,CI;Lee,CC
貢獻者:	光電科學與工程學系
關鍵詞:	DISTANCE MEASUREMENT;REFRACTIVE-INDEX;LASER;AIR
日期:	2002
上傳時間:	2010-07-07 14:17:54 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	An interferometer based on the differential heterodyne configuration and wavelength-scanning interferometry for measuring large step heights is presented. The proposed interferometer is less sensitive to environmental disturbances than other interferomete
關聯:	APPLIED OPTICS
顯示於類別:	[光電科學與工程學系] 期刊論文

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