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    題名: Optical monitoring and real time admittance loci calculation through polarization interferometer
    作者: Lee,Cheng-Chung;Wu,Kai;Chen,Sheng-Hui;Ma,Sheng-Ju
    貢獻者: 薄膜技術研究中心
    關鍵詞: COATINGS
    日期: 2007
    上傳時間: 2010-07-07 15:47:22 (UTC+8)
    出版者: 中央大學
    摘要: A simple, low coherence, vibration insensitive, polarization Fizeau interferometer is employed in this novel optical monitoring system proposed to extract the temporal phase change of the reflection coefficient of the growing film stacks. This system can
    關聯: OPTICS EXPRESS
    顯示於類別:[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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