Microstructure- and composition-related characteristics of LaF3 thin films at 193 nm

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題名:	Microstructure- and composition-related characteristics of LaF3 thin films at 193 nm
作者:	Liu,Ming-Chung;Lee,Cheng-Chung;Kaneko,Masaaki;Nakahira,Kazuhide;Takano,Yuuichi
貢獻者:	薄膜技術研究中心
關鍵詞:	VACUUM ULTRAVIOLET;COATING MATERIALS;OPTICAL COATINGS;FLUORIDE FILMS;MGF2;EVAPORATION;DEPOSITION;BOAT
日期:	2006
上傳時間:	2010-07-07 15:47:42 (UTC+8)
出版者:	中央大學
摘要:	The characteristics of lanthanum fluoride (LaF3) thin films deposited with a resistive heating (RH) boat and by e-beam gun evaporation at different substrate temperatures have been studied. The characteristics of the deposited films, including optical pro
關聯:	OPTICAL ENGINEERING
顯示於類別:	[薄膜技術研究中心] 期刊論文

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