以相位偏移式橢圓儀測量薄膜光學常數之研究;The Research on the Measurement of the Optical Constants by Phase-shifting Ellipsometer

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題名:	以相位偏移式橢圓儀測量薄膜光學常數之研究;The Research on the Measurement of the Optical Constants by Phase-shifting Ellipsometer
作者:	李正中
貢獻者:	中央大學光電科學研究所
關鍵詞:	電子電機工程類;橢圓偏振光儀;相移技術;光電調變器;光學塗佈;Ellipsometer;Phase-shifting technique;Electro-optic modulator;Opticalcoatings
日期:	1995-09-01
上傳時間:	2012-10-01 14:59:32 (UTC+8)
出版者:	行政院國家科學委員會
摘要:	本計畫首先以相位偏移技術,設計研製一套橢圓旋光儀,其次再利用所研製的橢圓旋光儀, 測量各種半導體及光學薄膜材料,以了解其光學性質,並驗證相位偏極式橢圓旋光儀的功能. 以氦氖雷射為光源,方解石稜鏡線偏極器分別作為極化入射光的線偏極器,及分析經由待測物反射之反射光的分析器.以個人電腦控制數位類比轉換器輸出電壓,經由線性放大器放大後,調變電光調制器,以改變相位延遲量.經由類比數位轉換器將偵測器之輸出信號數位化,輸入電腦計算,得到橢圓參數.然後再以簡形優化法,以疊代方式解出光學常數及厚度.製作各種半導體及光學薄膜,以相位偏移式橢圓旋光儀測量所製作的各種薄膜光學特性,了解半導體及光學薄膜材料的性質. ; 研究期間 8308 ~ 8407
關聯:	財團法人國家實驗研究院科技政策研究與資訊中心
顯示於類別:	[光電科學研究所] 研究計畫

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