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    Title: 熔融法折射式微透鏡陣列之設計製造與檢測
    Authors: 梁逸平;Yi-Ping Lian
    Contributors: 光電科學研究所
    Date: 2001-07-17
    Issue Date: 2009-09-22 10:25:19 (UTC+8)
    Publisher: 國立中央大學圖書館
    Abstract: 近年來,微光學已成為一熱門的研究領域。一般而言,光學元 件大致上可分為繞射式與折射式兩種,本論文所研究之光阻熔融式 微透鏡陣列,則是屬於折射式光學元件之一。 論文主要在於說明如何設計、製造出一系列之微透鏡陣列,並 以各種檢測之方法,檢驗其特性,以求能找出更佳的製作參數。 實驗中製作出之微(凸)透鏡,其直徑大小在20 mm ~ 100 mm 之間,焦距約為20 mm ~ 300 mm 之間,數值孔徑則介於0.15 ~ 0.5 之間。在品質上大致良好,皆為表面平整度高之球面透鏡。 實驗所得之成品主要的缺點在於其實用性,因為光阻不是一個 好的光學材料。改進方法為利用活性離子蝕刻機,將其形狀轉換至 性質穩定之基板上,以增進其效能。 none
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