大面積低溫微波電漿輔助化學氣象沉積薄膜之研究

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Title:	大面積低溫微波電漿輔助化學氣象沉積薄膜之研究
Authors:	陳家豪;Chia-Hao Chen
Contributors:	光電科學研究所
Keywords:	微波電漿;薄膜;大面積;Large-area;microwave plasma;thin film
Date:	2002-07-10
Issue Date:	2009-09-22 10:25:56 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	本實驗採用大面積化微波電漿輔助化學氣相沉積系統，研究沉積鑽石薄膜的最佳參數。本研究分為兩個階段，第一階段為改良天線陣列區Arc現象及測試系統的穩定度；第二階段，待系統穩定後，藉由改變系統總壓力及甲烷（CH4）、氫氣（H2）流量等參數，來研究對薄膜品質的影響。另外我們以拉曼散射光譜儀、X-ray繞射儀、掃描式電子顯微鏡及傅立葉紅外光譜儀來鑑定薄膜的特性。在氫氣（H2）流量300 sccm、甲烷（CH4）流量50 sccm、抽氣閥門控制開關在5%的位置、微波功率700W、鍍膜48小時，結果在電子顯微鏡下的表面顆粒結晶較多，經傅立葉紅外光譜儀分析沒有C-H鍵結，X-ray繞射儀沒有明顯的特性峰，薄膜表面結晶顆粒大約在10 nm ~ 20 nm之間。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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