氧化鋅鋁透明導電膜在氮化鎵上; 歐姆接觸特性研究The Study of AZO transparent and conductive ohmic contact to p-GaN

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Title:	氧化鋅鋁透明導電膜在氮化鎵上;歐姆接觸特性研究The Study of AZO transparent and conductive ohmic contact to p-GaN
Authors:	胡慶忠;Ching-Chung Hu
Contributors:	光電科學研究所
Keywords:	透明導電膜;歐姆接觸;氮化鎵;鋁摻雜氧化鋅;氧化鋅鋁;Ohmic contact;GaN;Al-doped ZnO;AZO
Date:	2005-09-30
Issue Date:	2009-09-22 10:30:35 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學圖書館
Abstract:	本論文之主題是n-型氮化鎵(n-GaN)與p-型氮化鎵(p-GaN)上之接觸電極研究。在n-GaN 的接觸電極方面， Cr/Au 接觸電極用高溫爐管(Furnace)在氮氣環境下經過400℃熱處理5 分鐘後可得到最低的特徵接觸電阻(specific contact resistivity )。對於作為n-型接觸電極有很大的發展潛力。在p-GaN 的接觸電極方面，以鋁摻雜氧化鋅(AZO)為透明電極材料，雖然AZO 薄膜有不錯的光穿透率，然而在p 型氮化鎵上之接觸特性，卻無法有線性之歐姆接觸特性，因此我們在AZO與p-型氮化鎵間加入一層鎳(Ni)或氧化鎳(NiOx)來降低透明導電膜與p-型氮化鎵之位障，改善了歐姆接觸特性。在光穿透率上，p-GaN/Ni/AZO 在氮氣環境下經過800℃熱處理後，在可見光波段的穿透率可由70%提升至85%，這可能是因為Ni/AZO 經過熱處理後，介面的Ni 會形成透明的NiO，而使穿透率提升。而所有的NiOx/AZO 在可見光波段都有85%以上的穿透率。而在氮氣環境下經過 800℃熱處理後 Ni/AZO 及NiOx/AZO 的特徵接觸電阻都有不錯的結果.並且與Ni/Au 及ITO 的電阻值相近。而電性的改善可能與介面處NiO 及Ni-Ga合金的形成有關。經過本論文的研究，Ni/AZO 與NiOx/AZO 透明導電膜具有應用於紫外光發光二極體(UV-LED)上的潛力。
Appears in Collections:	[Graduate Institute of Optics and Photonics] Electronic Thesis & Dissertation

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