應用表面微結構沉積銀顆粒輔助製作矽奈米線之研究;Study of assist fabricating Silicon nano wire by depositing silver particle on surface microstructure

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Title:	應用表面微結構沉積銀顆粒輔助製作矽奈米線之研究;Study of assist fabricating Silicon nano wire by depositing silver particle on surface microstructure
Authors:	鍾政毅;Cheng,Cung-Yi
Contributors:	機械工程學系
Keywords:	金屬輔助化學蝕刻;矽奈米線;金字塔微結構;MACE;silicon nano wire;pyramid microstructure
Date:	2016-06-17
Issue Date:	2016-10-13 14:49:08 (UTC+8)
Publisher:	國立中央大學
Abstract:	矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體矽基奈米結構具有許多優異的性質，廣泛應用半導體、光電、生醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其醫及能源領域中，因此發展製程技術扮演著關鍵的角色而其矽奈米線製備有許多的方法，奈米線製備有許多的方法，奈米線製備有許多的方法，奈米線製備有許多的方法，奈米線製備有許多的方法，其中最常製備成奈米線製備成奈米線製備成奈米線是使用氫氟酸與硝是使用氫氟酸與硝是使用氫氟酸與硝是使用氫氟酸與硝酸銀直接製作出奈米顆粒酸銀直接製作出奈米顆粒酸銀直接製作出奈米顆粒酸銀直接製作出奈米顆粒，再利用金屬輔助蝕刻出再利用金屬輔助蝕刻出再利用金屬輔助蝕刻出矽奈米線。本實驗為了探討為了探討利用氫氧化鉀氫氧化鉀做表面處理做表面處理做表面處理後，預先形成不同尺寸形成不同尺寸形成不同尺寸的金字塔的金字塔微結構，再使用硝酸銀使用硝酸銀、硼氫化鈉與硼氫化鈉與檸檬酸鈉產生出奈米銀顆粒沉積檸檬酸鈉產生出奈米銀顆粒沉積檸檬酸鈉產生出奈米銀顆粒沉積檸檬酸鈉產生出奈米銀顆粒沉積檸檬酸鈉產生出奈米銀顆粒沉積在經過表面處理之後的矽，再利用這些在經過表面處理之後的矽，再利用這些在經過表面處理之後的矽，再利用這些在經過表面處理之後的矽，再利用這些在經過表面處理之後的矽，再利用這些在經過表面處理之後的矽，再利用這些在經過表面處理之後的矽，再利用這些在經過表面處理之後的矽，再利用這些沉積的沉積的銀金屬顆粒輔助化金屬顆粒輔助化金屬顆粒輔助化金屬顆粒輔助化學蝕刻出陣列奈米線，奈米線，奈米線，奈米線，藉由電子顯微鏡觀察矽表面的奈米結構形貌藉由電子顯微鏡觀察矽表面的奈米結構形貌藉由電子顯微鏡觀察矽表面的奈米結構形貌藉由電子顯微鏡觀察矽表面的奈米結構形貌藉由電子顯微鏡觀察矽表面的奈米結構形貌藉由電子顯微鏡觀察矽表面的奈米結構形貌及影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由影像分析等性質討論。經一系列實驗的發現，矽表面由氫氧化鉀氫氧化鉀蝕刻過後的表面可刻過後的表面可沉積較多的銀顆粒，而另合成較多的銀顆粒，而另合成較多的銀顆粒，而另合成較多的銀顆粒，而另合成較多的銀顆粒，而另合成較多的銀顆粒，而另合成粒徑會因為溫度的不同而有所的不同而有所的不同而有所，而藉由奈米銀顆粒的變化可得到更細小及緻密而藉由奈米銀顆粒的變化可得到更細小及緻密而藉由奈米銀顆粒的變化可得到更細小及緻密而藉由奈米銀顆粒的變化可得到更細小及緻密而藉由奈米銀顆粒的變化可得到更細小及緻密而藉由奈米銀顆粒的變化可得到更細小及緻密而藉由奈米銀顆粒的變化可得到更細小及緻密而藉由奈米銀顆粒的變化可得到更細小及緻密奈米線。;In recent years, silicon nanostructure has received great deal of attention from its unique surface effects. The use of silicon nanostructure has been applied to a wide variety of fields including semiconductor, optoelectronic, biological and energy field. Therefore, the fabrication technique developing silicon nanostructure becomes an intriguing topic for researchers. Preparation of silicon nanostructure has many ways. In the past, the common silicon nanostructure was prepared by using hydrofluoric acid and silver nitrate produce nano-silver particles for metal-assist chemical etching. In this experiment, we explore the use of sodium hydroxide surface treatment for silver particles formation. Next, silver nitrate, sodium tetrahydridoborate and sodium citrate produced nano silver particles, which are deposited on the surface-treated silica after reuse the nano silver particles assist chemical etching nanowires. Though electron morphology and properties of nano structure silicon surface image analysis we designed a series of experiments, firstly the silicon surface by potassium hydroxide etching can be deposited more the silver particles. Secondly synthesis of silver particles in solution at different temperatures because particle sizes vary in different temperatures. With the change of nano-silver particles, we can obtain finer and dense nanowire.
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